ÀüºÏ´ë¿Í ¾ÆÁÖ´ë °øµ¿¿¬±¸ÆÀÀÌ ¡®¹®ÅÎÀü¾Ð¡¯À» Á¤¹ÐÇÏ°Ô Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù. ÀÌ ¿¬±¸´Â Â÷¼¼´ë ÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼¿Í À¯¿¬ ÀüÀڽýºÅÛ °³¹ßÀÇ ÇÙ½É ±â¹Ý ±â¼úÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
20ÀÏ ÀüºÏ´ë¿¡ µû¸£¸é ±èÅÂ¿í ±³¼ö(À¯¿¬ÀμâÀüÀÚÀü¹®´ëÇпø)¿Í ¾ÆÁÖ´ë ¹Ú¼ºÁØ ±³¼ö(Áö´ÉÇü¹ÝµµÃ¼°øÇаú) ¿¬±¸ÆÀÀÌ ´Ü°áÁ¤ Àº(Ag) ³ª³ë½ÃÆ®¸¦ Ȱ¿ëÇÑ »êȹ° ¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸· Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ¹®ÅÎÀü¾ÐÀ» Á¤¹ÐÇÏ°Ô Á¦¾îÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù.
À̹ø ¿¬±¸´Â ÀüºÏ´ë ÁÖÇöÁö ¿¬±¸¿ø(¼®»ç, Áöµµ±³¼ö ±èÅ¿í)ÀÌ ÁÖµµÇßÀ¸¸ç, Àç·á°úÇÐ ºÐ¾ß ¼¼°èÀû ±ÇÀ§ ÇмúÁö ¡ºACS Nano¡» (IF=16.1, JCR »óÀ§ 6%) 2025³â ÃÖ½ÅÈ£¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº Àº(Ag) ¿øÀÚµéÀÌ °¡Àå ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î ¹è¿µÈ ´Ü°áÁ¤ (111) ¸é ±¸Á¶¸¦ °¡Áø Àº ³ª³ë½ÃÆ®¸¦ ÃÊÀ½ÆÄ Á¶¸³ °øÁ¤À» ÅëÇØ Àεã-°¥·ý-¾Æ¿¬ »êȹ°(IGZO) Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ¹ÝµµÃ¼Ãþ°ú Àý¿¬Ãþ »çÀÌ¿¡ »ðÀÔÇß´Ù. ÀÌ ³ª³ë½ÃÆ®´Â Àü·ù ½ºÀ§Ä¡ÀÇ ¹Î°¨µµ¸¦ Á¶ÀýÇÏ´Â ÇÙ½É ¿ªÇÒÀ» Çϸç, ä³Î ¿µ¿ª ³» Àº ³ª³ë½ÃÆ®ÀÇ ÇǺ¹µµ(coverage)¿¡ µû¶ó ¹®ÅÎÀü¾ÐÀ» Á¤¹ÐÇÏ°Ô Á¶Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ ±â¼úÀº »ó¿Â¡¤»ó¾Ð Á¶°Ç¿¡¼ °£´ÜÇÑ °øÁ¤¸¸À¸·Îµµ Àü¾Ð Á¦¾î°¡ °¡´ÉÇϰí, ¼ÒÀÚÀÇ ¼º´É°ú ¾ÈÁ¤¼ºÀÌ ±×´ë·Î À¯ÁöµÇ´Â µî ±âÁ¸ÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çß´Ù´Â Á¡¿¡¼ Å« Àǹ̸¦ °®´Â´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ÀÌ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ NMOS ÀιöÅÍ È¸·Î¸¦ Á÷Á¢ ±¸ÇöÇÔÀ¸·Î½á ´Ù¾çÇÑ ÀüÀÚ ¼ÒÀÚ¿Í È¸·Î ¼³°Ô¿¡ Æø³Ð°Ô Àû¿ëµÉ ¼ö ÀÖÀ½À» ÀÔÁõÇß´Ù.
±èÅÂ¿í ±³¼ö´Â ¡°À̹ø ¿¬±¸´Â ´Ü°áÁ¤ ±Ý¼Ó ³ª³ë¹°Áú°ú °£´ÜÇÑ ÃÊÀ½ÆÄ °øÁ¤¸¸À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÇÙ½É Æ¯¼ºÀ» Á¤¹ÐÇÏ°Ô Á¦¾îÇÑ ¿¬±¸·Î, Â÷¼¼´ë ÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× À¯¿¬ ÀüÀڽýºÅÛ °³¹ßÀÇ Áß¿äÇÑ ±â¹Ý ±â¼úÀÌ µÉ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
/ÀåÀº¼º ±âÀÚ