ÀüºÏ´ë ¹ÝµµÃ¼Æ¯¼ºÈ´ëÇлç¾÷´Ü, ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ½Ç¹«±³À° ¿î¿µ
°¡-
°¡+
ÀüºÏ´ëÇб³ ¹ÝµµÃ¼Æ¯¼ºÈ´ëÇлç¾÷´Ü(´ÜÀå ±èÁø¼ö)ÀÌ ÇÏ°è ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ½Ç¹«±³À°À» ¿î¿µÇß´Ù°í 28ÀÏ ¹àÇû´Ù.
¹ÝµµÃ¼ À¶ÇÕÀü°ø Çлý 30¸íÀÌ Âü¿©ÇÑ À̹ø ±³À°¿¡¼´Â ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ À̷аú ½Ç½À ±³À°À» ºñ·ÔÇØ ÀÌ °øÁ¤¿¡ ÀÌ¿ëµÇ´Â ÀåºñÀÇ ÀÌÇØ¿Í °øÁ¤ ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇÑ ´Ùä·Î¿î ±³À°ÀÌ ÀÌ·ïÁ³´Ù.
¶ÇÇÑ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¹× ¹°¼ººÐ¼®¿¡ ÀÌ¿ëµÇ´Â 4Á¾ÀÇ Àåºñ(DC Sputter, E-beam evaporator, PECVD, SEM)¿¡ ´ëÇÑ ½Ç¹«±³À°°ú, ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤¿¬±¸¼¾ÅÍ¿¡¼ÀÇ °øÁ¤½Ç½À µîÀ» ½Ç½ÃÇß´Ù.
ÇÑÆí ¹ÝµµÃ¼Æ¯¼ºÈ»ç¾÷´ÜÀº ÇÏ°è.µ¿°è ¹æÇÐÀ» ÀÌ¿ëÇØ °øÁ¤½Ç¹«±³À° ÇÁ·Î±×·¥À» ¿î¿µ, °í°º¹?ÀÌ°ÇÈñ ¹Ú»ç µî ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤¿¬±¸¼¾ÅÍ(SPRC)¼Ò¼Ó ¿¬±¸¿øµéÀÌ Âü¿©ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
±èÁø¼ö ´ÜÀåÀº ¡°ÇлýµéÀÇ ¼ö¿äÁ¶»ç¸¦ ÅëÇØ ÀÌ ±³À°À» °³¼³Çß°í, °³¼³°ú µ¿½Ã¿¡ ¸¶°¨µÇ´Â µî ÇлýµéÀÇ °ü½É°ú ¸¸Á·µµ°¡ ¸Å¿ì ³ô´Ù¡±¸ç ¡°À̹ø ±³À°À» ÅëÇØ ÇлýµéÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡ º¸´Ù ±íÀÌ ÀÌÇØÇÏ°í ½ÇÁúÀûÀÎ ¿ª·®À» °®Ãâ ¼ö ÀÖ´Â ±âȸ°¡ µÆÀ¸¸é ÁÁ°Ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
/ÀåÀº¼º ±âÀÚ
<Copyright¨ÏÀüÁÖ¸ÅÀϽŹ® ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>