전북도는 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터로부터 플라즈마 데이터 모듈을 이전받은 국내 중소기업(경원테크)이 반도체 핵심 제조공정의 해석에 필요한 소프트웨어의 국산화에 성공해 삼성전자에 공급한다고 밝혔다.
경원테크는 군산 플라즈마기술연구센터와 표준(연)/진공센터, 전북대/임연호교수, 부산대/이해준교수 등과 산학연협력 연구를 통해 K-Speed 개발에 성공했고, 최근 삼성전자 반도체연구소와 성능평가를 완료하고 소프트웨어 공급계약을 체결하게 됐다.
기존 제품이 실제 반도체 공정에서 사용되는 복합가스가 아닌 단일가스만을 이용한 플라즈마를 해석하는데 반해 ‘K-Speed’는 실제 공정에 사용되는 복합가스의 반응을 탑재해 실제 공정을 정확하게 연산하는 것으로 확인됐다.
K-Speed는 더 빠르고 정확한 새로운 반도체 제조 공정개발과 반도체 구조개발 등의 신기술 개발 등에 활용될 수 있을 것으로 기대되는데 반도체 산업 소프트웨어 국산화를 통해 반도체 공정에서 발생할 수 있는 기술적 난제 해결을 위한 기반기술 확보와, 외국 소프트웨어 사용으로 인한 국내 제조사 공정기술의 해외 유출을 방지해 국내 반도체 산업의 글로벌 경쟁력 확보에도 기여할 것으로 예상된다.
이번 성공은 플라즈마기술연구센터의 ‘플라즈마 물성데이터 측정기술’ 등의 기술이전 및 산학연 협력을 통한 산업화 지원과 함께, 외국 소프트웨어의 단순 수입 및 배급역할 뿐만 아니라 국내 기술력으로 세계 최고 수준의 소프트웨어 개발을 추진해 온 기업의 자기혁신 노력이 기반이 됐다.
K-Speed는 플라즈마를 사용하는 반도체 식각 및 증착공정을 시뮬레이션하는 소프트웨어로, 반도체 공정 중 식각(박막이 형성된 표면을 깎아 불필요한 부분을 제거하여 회로 패턴이 드러나도록 하는 과정) 및 증착(실리콘 기판위에 얇은 막을 입히는 과정)공정을 사전에 시뮬레이션해 실제 공정 결과를 예측할 수 있는 프로그램이다.

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